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退火设备
文章作者:admin上传更新:2021-09-01浏览:
退火设备退火设备
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退火设备是在半导体器件制造中使用的一种工艺,其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂,将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面,使致密沉积的薄膜,改变生长的薄膜的状态,修复注入的损伤,移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中,例如氧化,或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉,超节能结构,采用纤维结构,节电0.6。

退火设备产品特点:

1、无噪声,无环境污染。

2、蓄热性小,热量流失少。

3、控温精度高,炉温均匀性强。

4、自动化程度高,操作简单。

5、可采用PID编程设定,全自动运行。

6、密封性好,寿命长,安全可靠。


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